Plonasluoksnių struktūrų topologijos formavimas kontaktinės optinės litografijos būdu

Darbo užduotis: Susipažinti su kontaktinės optinės litografijos technologiniu procesu. Vienasluoksnės topologijos suformavimas ant Si plokštelės fotolitografijos būdu. Teorinė dalis. Darbo metodika ir aparatūra. Darbo rezultatai. Darbo eiga. Išvados.