Antrinių jonų masių spektroskopija (SIMS)

Įžanga. SIMS (antrinių jonų masių spektroskopija) pritaikymas. Jonų pluošto purslojimas. Purslojimo veikimas. Antrinio jono energijos pasiskirstymas. Antrinio jono našumai - pagrindinis veikimas. Antrinių jonų našumai – pirminio pluošto veikimas. Reliatyvaus jautrumo faktoriai. RSF lenteles. Jautrumo ir atskleidimo limitas. Profilio gylis. Gylio sprendimas. RSF Išmatavimo Standartai. Optinė Analizė. Masių įsimaišymai. Aukštasis Masinis Sprendimas. Mažesni Izotopai. Pradinis susidūrimas. Įtampos kompensavimas. Pavyzdžio apkrovimas. Elektronų bombardavimas. Gretimi laidininkai. Neigiami pagrindinių jonų spinduliai. Automatinis įtampos kompensavimas. Jonų vaizdavimas. Izotopų koeficientų matavimas.